Project Cases


분야별 적용 사례


Gas Detector

[YT-98H]클린룸 O3 측정기 설치 사례

Safegas Korea

적용 분야 : 클린룸 공정 오존 측정 

측정 가스 유형 : 오존 (CO3)

적용 제품 : YT-98H (클릭시 상세 페이지로 이동)



고객 요구 사항 :

제약산업  클린룸 내의 오존의 실시간 모니터링을 하고자 하였습니다.설치형 제품이 필요하였고, 클린룸이기 때문에 초정밀도의 O3측정기를 요청하셨습니다. 


솔루션 :

고객의 요구에 맞춰 측정 범위가 측정범위 : 0-1PPM  / 분해능 :  0.001PPM 의 초정밀의 YT-98H를 준비 하였습니다. 분해능이 0.001PPM이기 때문에 적은 수치의 오존에도 반응하여 수치가 매우 낮지만 활발하게 변화하는 모습을 볼 수 있었습니다. 클린룸 관리시의 O3를 최대한 줄이는 것을 목적으로 설치되었기에, 오존발생 의심 설비에서 어디쪽에서 발생하는지 확인하기 위해 포터블 형태의 SKY3000도 추가로 구매진행하였습니다.

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